雙面研磨機(jī)
TDL-600/1200
該系列雙面研磨機(jī)是一款高精度、高穩(wěn)定性的研磨加工設(shè)備，具備上盤(pán)、下盤(pán)、內(nèi)環(huán)主動(dòng)驅(qū)動(dòng)，可根據(jù)客戶需求定制游星輪，通過(guò)搭配不同材質(zhì)的研磨盤(pán)和不同粒徑及材質(zhì)的研磨液，實(shí)現(xiàn)各類(lèi)半導(dǎo)體材料的雙面研磨加工。
加壓方式氣囊
研磨壓力Max400 kgf
上下拋光盤(pán)尺寸OD630 mm
游星輪規(guī)格9B*5
